جزئیات ماده تترا اتیل آمونیوم هیدروکساید (Tetraethylammonium Hydroxide)
- فرمول شیمیایی: C8H20NOH
- وزن مولکولی: 91.154 g/mol
- شکل فیزیکی: جامد یا مایع بی‌رنگ (معمولاً محلول آبی)
- نقطه ذوب (پنتاهیدرات): 67 °C
- نقطه جوش: تا تخریب ساختار
- حلالیت در آب: بسیار محلول
شرح ماده
تترا اتیل آمونیوم هیدروکساید (TMAH) یک باز قوی آلی و نمک آمونیوم است که فرم تجاری آن معمولاً به صورت محلول آبی عرضه می‌شود.
این ماده بی‌رنگ بوده و بوی قوی آمونیاک دارد. TMAH باعث خوردگی فلزات و آسیب بافت‌ها می‌شود و تماس با پوست آن بسیار سمی است.
به همین دلیل در هنگام کار با آن، رعایت استانداردهای ایمنی و SOP ضروری است.
TMAH در صنایع میکروالکترونیک و نانوالکترونیک به عنوان توسعه‌دهنده (developer) و حلال بازی در فتولیتوگرافی استفاده می‌شود.
همچنین به عنوان سورفاکتانت و کاتالیزور انتقال فاز در سنتز فروم‌فلوئید و مهار تجمع نانوذرات کاربرد دارد.
کاربردهای تترا اتیل آمونیوم هیدروکساید
صنایع میکرو و نانوالکترونیک
- حفر ناهمسانگرد سیلیکون
- توسعه‌دهنده در فرآیند فتولیتوگرافی
- حلال بازی در فتوسنتز اسیدی
کاربردهای شیمیایی و آزمایشگاهی
- کاتالیزور انتقال فاز
- سورفکتانت در سنتز فروم‌فلوئید
- مهار تجمع نانوذرات
- معرف رایج در آنالیزهای ترموشیمی
هشدار ایمنی
- بسیار خورنده و سمی
- تماس با پوست یا استنشاق بخارات می‌تواند خطرناک باشد
- استفاده از تجهیزات حفاظتی کامل (دستکش، عینک، هود) الزامی است
